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- 자기부상 스테이지는 이동체와 고정부 간의 기계적인 결합 없이 전자기력을 이용하여 6자유도 모션을 제어하므로 마찰 및 백래시가 없고 외란에 강인한 장점이 있습니다.
- 이러한 자기부상 스테이지의 장점으로 인해 다물체 연쇄 구조 메커니즘에 비해 높은 정밀도 구현이 가능하여, 반도체 및 디스플레이 등의 제조 공정에서 초정밀 위치결정 기구로서 사용할 수 있습니다.
- DPIL에서는 자기부상을 이용한 초정밀 스테이지 등을 연구 개발하여 웨이퍼 위치 결정, 물류 시스템 등에 적용하고자 노력하고 있습니다.
- The magnetic levitation stage controls 6-degree-of-freedom motion using electromagnetic force without mechanical coupling between the moving body and the base frame, so it has no friction and backlash and is robust to disturbance.
- Due to the advantages of the magnetic levitation stage, it can be used as a high-precision positioning mechanism in manufacturing processes such as semiconductors and displays, as it can realize higher precision than multi-body mechanism.
- DPIL researches and develops ultra-precision stages using magnetic levitation, and strives to apply them to wafer positioning and distribution systems.
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- DPIL에서는 다양한 형태의 자기부상 시스템을 구현하기 위한 전자기 구동기 설계 연구를 수행합니다.
- DPIL에서는 고강성 부상체를 구현하기 위한 구조 설계 및 신소재 적용 연구를 수행합니다.
- DPIL에서는 빠른 응답 특성 확보 및 소모전력 저감을 위한 자중보상 메커니즘 연구를 수행합니다.
DPIL에서는 자기부상 정밀 스테이지의 토폴로지 설계, 최적화, 구조 및 모드 해석, 제작, 센서 및 제어시스템 구성, 위치 제어의 전 과정에 대한 연구 및 개발을 수행합니다.
- DPIL conducts research on electromagnetic actuators to implement various types of magnetic levitation systems.
- DPIL conducts research on structural design and application of new materials to realize high-stiffness levtating bodies.
- DPIL conducts research on deadweight compensation mechanism to secure fast response and reduce power consumption.
- DPIL conducts research and development on the entire process of topology design, optimization, structure and mode analysis, fabrication, sensor and control system configuration, and position control of magnetic levitation precision stages.
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