Compliant Mechanism

유연기구

유연기구는 재료의 탄성 변형을 통해 운동, 힘 또는 에너지를 전달하는 기계 구조







  • 유연기구는 재료의 탄성 변형을 통해 운동, 힘 또는 에너지를 전달하며 마찰 및 백래시가 없고, 윤활이 필요치 않는 장점이 있습니다.
  • 이러한 유연기구의 장점은 마찰 기반 강체 메커니즘에 비해 높은 정밀도 구현이 가능케 하며, 초정밀 위치결정 스테이지 및 MEMS 구조물 등의 응용분야에 주로 사용됩니다.
  • DPIL에서는 Compliant mechanism을 이용한 초정밀 스테이지 등을 연구 개발하여, 웨이퍼 위치 결정, 광학계 정렬, 바이오 및 의료 시편 이송 등에 활용하고 있습니다.

  • Compliant mechanism (Flexure mechanism) transmits motion, force, or energy through elastic deformation of the material, and has the advantage of having no friction, no backlash, and no lubrication.
  • Due to the advantages of this compliant mechanism, higher precision can be realized compared to friction-based rigid body mechanisms, and it is mainly used in applications such as ultra-precision positioning stages and MEMS structures.
  • DPIL researches and develops ultra-precision stages using compliant mechanisms, and uses them for wafer positioning, optical system alignment, bio and medical specimen transfer, etc.
  • DPIL에서는 다자유도 고강성 모션 시스템을 구현할 수 있는 Compliant mechanism 연구를 수행합니다.
  • DPIL에서는 압전 및 전자기 구동기 등을 적용하기 위한 증폭 및 고강성비 compliant mechanism연구를 수행합니다.
  • DPIL에서는 기존 메탈 소재의 설계 및 제작 한계를 극복하기 위한 플라스틱 소재 및 3D 프린팅 기반 compliant mechanism연구를 수행합니다. 
  • DPIL에서는 compliant mechanism의 토폴로지 설계, 최적화, 구조 및 모드 해석, 제작, 구동기 및 센서 구성, 위치 제어의 전 과정에 대한 연구 및 개발을 수행합니다.

  • DPIL conducts research on compliant mechanisms that can implement multi-degree-of-freedom and high-stiffness motion systems.
  • DPIL conducts research on amplification and high stiffness ratio compliant mechanism for application of piezoelectric and electromagnetic actuators.
  • DPIL conducts research on compliant mechanisms utilizing plastic materials and 3D printing manufacturing to overcome the limitations of the conventional metal materials.
  • DPIL conducts research and development on the entire process of topology design, optimization, structure and mode analysis, fabrication, actuator and sensor configuration, and position control of compliant mechanisms.